在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管道和内部管道的总长度可达几公里,焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里,必须投人很大力量对设备严格进行检漏,所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏问题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。氦检仪整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。安徽智能氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。安徽智能氦质谱检漏仪售后服务氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。
氦检仪进展的集中体现在如下几个方面:(1)便携式:较近各国推出的小型便携式氦检仪不只灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的氦检仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极氦检仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。
氦检仪漏率的校准方法:一、环境条件,校准环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃,环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择,标准器采用渗氦型标准漏孔,漏率标称值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不确定度不大于10%。精密玻璃温度计,测量范围(0~50)℃,不确定度U=0.04℃,k=2。氦检仪噪声是哪儿来的?
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求:1、检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;2、反应时间短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;4、能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;5、稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠;6、所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;7、检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测到,以减少检漏设备的数量和费用;8、检漏时洁净无油,满足一些特殊的要求。氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。安徽智能氦质谱检漏仪售后服务
氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。安徽智能氦质谱检漏仪售后服务
氦检仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。安徽智能氦质谱检漏仪售后服务
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